技術(shù)中心
| 真空鍍膜機(jī)日常使用與維護(hù)方法 |
| 發(fā)布時(shí)間：2026-01-21 瀏覽： 次 |
|
一、操作前準(zhǔn)備 檢查設(shè)備電源連接是否穩(wěn)固，各閥門處于關(guān)閉狀態(tài) 準(zhǔn)備好所需靶材和基片，確保表面清潔無雜質(zhì)
穿戴好防護(hù)裝備(手套、護(hù)目鏡等) 二、抽真空流程 先啟動(dòng)機(jī)械泵(旋片式或滑閥式)，將腔體抽至初級真空 當(dāng)真空度達(dá)到10-1Pa后，可啟動(dòng)擴(kuò)散泵獲取更高真空 注意觀察真空計(jì)讀數(shù)，達(dá)到工作真空度(通常10-3Pa以上)才能開始鍍膜 三、鍍膜操作 將靶材裝入蒸發(fā)源 逐步升高加熱功率至靶材蒸發(fā)溫度 通過擋板控制鍍膜啟停 濺射鍍膜： 設(shè)置合適的濺射功率 調(diào)節(jié)工作氣體(如氬氣)流量 開啟射頻電源進(jìn)行濺射 四、日常維護(hù) 定期更換機(jī)械泵油(建議每3個(gè)月或500工作小時(shí)) 清潔鍍膜室殘留物，避免交叉污染 檢查各密封圈的完好程度 記錄設(shè)備運(yùn)行參數(shù)，建立維護(hù)檔案 五、安全注意事項(xiàng) 設(shè)備運(yùn)行時(shí)禁止打開腔體 高溫部件需冷卻后才能接觸 處理靶材時(shí)避免直接皮膚接觸 緊急情況立即按下急停按鈕 六、常見問題處理 抽速慢：檢查管路是否漏氣、泵油是否需要更換 真空度不達(dá)標(biāo)：排查密封性問題或泵組工作狀態(tài) 薄膜不均勻：調(diào)整基片轉(zhuǎn)速或蒸發(fā)源位置 通過規(guī)范操作和定期維護(hù)，可確保真空鍍膜機(jī)穩(wěn)定運(yùn)行，延長設(shè)備使用壽命。建議每次使用后做好清潔工作，并記錄當(dāng)次工藝參數(shù)以備后續(xù)參考。 本文由真空鍍膜機(jī)廠家愛加真空整理發(fā)布，僅供學(xué)習(xí)! |
  |
